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      半導體制造蒸發器加熱280KW電加熱導熱油爐「歐能機械」

      返回列表 來源: 歐能機械 發布日期: 2025.05.08/14:50

      合作項目半導體制造蒸發器加熱

      合作產品:280KW電加熱導熱油爐

      合作時間2025年3月

      案例介紹

      半導體制造過程中產生的廢水含有多種復雜成分,需通過蒸發濃縮處理。半導體企業采用電加熱導熱油爐為蒸發器提供熱源,處理高濃度廢水。

      半導體制造蒸發器加熱280KW電加熱導熱油爐

      蒸發器需將廢水加熱至120℃實現水分蒸發,剩余濃縮廢液便于后續處置。由于半導體生產連續性要求高,任何溫度波動都可能影響廢水處理效率,甚至導致產線停滯,因此對熱源穩定性要求苛刻。

      半導體制造蒸發器加熱280KW電加熱導熱油爐

      控溫對象為蒸發器夾套內的導熱油,要求油溫穩定在120℃,系統需實時監控溫度、壓力及流量參數,同時需支持遠程監控和異常報警功能。

      解決方案采用兩臺280KW電加熱導熱油爐,一用一備,通過PLC集成控制,實時調節加熱功率,確保油溫波動在允許范圍內。系統配備多級安全保護,包括超溫自動斷電、壓力異常報警等。

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