半導體廢水蒸發處理280kw電加熱導熱油爐「歐能機械」

案例介紹

某半導體制造企業，在其晶圓生產過程中會產生含有高純度化學物質的廢水。此類廢水成分復雜、處理標準極其嚴苛，必須通過穩定的高溫蒸發工藝進行濃縮和處理，以實現環保達標和資源回收。

客戶采用多效蒸發器作為核心處理設備，其工藝對熱源系統提出了要求：

• 極高的可靠性：半導體生產線是24小時連續運轉，任何中斷都會導致巨大的經濟損失。廢水處理作為關鍵輔助設施，其熱源系統必須可靠，零意外停機。
• 穩定的高溫供應：需要將導熱油加熱至120℃左右，為蒸發器提供持續、穩定的熱量，確保廢水蒸發過程的連續性和效率。
• 過程控制：溫度、壓力的穩定性直接影響蒸發效率和濃縮物的品質，需要監控與控制。
• 高度的自動化與遠程監控：設備需集成到廠區的中央控制系統中，實現無人值守、遠程操作和故障預警，以滿足半導體工廠智能化管理的要求。

針對半導體行業對“高可靠性”和“高純度”的追求，我們為客戶提供了一用一備雙機系統的280kW電加熱導熱油爐解決方案：

1、一用一備，打造不間斷的熱源中心：
方案核心是配置兩臺完全獨立的280kW電加熱導熱油爐。一臺處于運行狀態，另一臺作為熱備份。
當運行中的設備出現任何預警或故障時，控制系統可自動或手動無擾切換至備用機組，確保蒸發器熱源零中斷，滿足了半導體生產7x24小時連續運行的苛刻要求，為客戶的生產連續性提供了保障。
2、大功率加熱，滿足持續蒸發需求：
單臺280kW的大功率設計，為蒸發器提供充足且穩定的熱量，確保廢水蒸發量達到設計指標，處理能力強勁。
3、智能PLC控制系統，實現遠程管理：
以工業級PLC為核心控制器，配合觸摸屏，構建了監控系統：
多參數監控：實時高精度監測導熱油系統的溫度、壓力、流量以及設備運行狀態，形成閉環控制，確保系統在120℃工況下穩定運行。
遠程互聯：支持以太網通訊，接入客戶廠區DCS或SCADA系統。工程師可在中央控制室遠程啟停設備、設定溫度、查看所有運行參數和歷史曲線。
報警與保護：系統具備完善的連鎖保護功能（如超溫、低壓、缺媒、過載等）。一旦出現異常，立即發出聲光報警并記錄事件，同時可觸發備用機組啟動，并發送信息至管理人員手機，實現預測性維護。
4、高品質組件，確保長期穩定運行：
采用高品質電加熱管、高溫循環油泵及控制閥件，設計選型留有充足余量，確保單臺設備在長期連續運行下的耐用性和穩定性，從源頭上降低故障率。    

本案例充分證明，我們的電加熱導熱油爐解決方案，不僅僅是提供熱量，更是為半導體這類對可靠性有要求的行業，提供了一套具備高可用性和智能管理功能的熱源系統。其一用一備的冗余設計、大功率穩定輸出、以PLC為核心的智能控制理念，深度契合了半導體工業的核心需求，為客戶的關鍵輔助設施提供了堅實、可靠、現代化的基礎保障，成為了客戶智能化工廠中不可或缺的可靠一環。